派克漢尼汾中國成立于20世紀80年代，是中國對外開放及國外直接投資以來，早成立的三家外國合資企業之一。在中國擁有2000多條產品線，產品涵蓋50多個市場，為企業提供航空航天，環境控制，機電，過濾，流體與氣體處理，液壓，氣動，過程控制，密封與屏蔽九大技術解決方案和服務。產品應用及解決方案主要涉及柴油發動機、風力發電、船舶制造、海洋勘探、鋼鐵、工程機械、高速鐵路和工廠自動化等。派克漢尼汾中國總部設在上海，在中國設有15個生產基地及7個區域銷售辦事處，在華已經擁有3千多名員工。

美國派克PARKER超高純貼面安裝隔膜閥的產品概述：

SM930 系列可供多種手動操作人員和氣動執行器使用。提供you秀的可靠性、泄露完整性和潔凈性，使其成為UHP超高純半導體模塊化貼面安裝系統應用的理想選擇。

派克SM90系列貼面安裝不銹鋼閥體隔膜閥(1-1/8和 1-1/2

閥體尺寸) 提供優異的泄露完整性、高循環壽命和低粒子生成，使其UHP超高純半導體應用的理想選擇 (1-1/8 and 1-1/2 inch body sizes) 。 

SM930系列與工藝流體接觸部分無螺紋或彈簧，大限度地減少粒子生成和氣體截留，減少對半導體應用至關重要的過程污染。閥門的嚴格設計控制閥座和膜片應力，提供穩定和無需維護使用壽命。SM930系列接液部件由特殊金屬制備，提供優異的耐腐蝕性和泄露完整性。閥體為內部電解拋光Vericlean™ 316L不銹鋼。Vericlean™ 是派克的UHP超高純級不銹鋼。隔膜材料為高強度鈷基合金。SM930系列同時提供PCTFE, PEEK® 和Vespel® 閥座材料，允許SM930與多種工藝流體兼容。這些材料由SM955系列嚴格設計組成，使SM930系列具有強耐腐蝕性和更高循環壽命，入口壓力高達250 psig. 

SM930系列氣動閥可配套限位開關或接近開關提供開-關位置指示。也有多種閥體結構，包括930Y（Y閥）和930（面密封和短管接口）. 

SM930系列閥門的內部（閥座）密封和金屬外部密封通過氦泄漏測試，使用質譜儀達到在苛刻超高純應用中的性能和穩定性.

市場:
• 半導體 
• 分析試驗室
• 制藥
• 生物制藥
• 航空航天
• 工業

特點/優勢:
• 有C和W密封貼面安裝1-1/8

和1-1/2

閥體尺寸 
• 5微英寸(Ra粗糙度)電拋光表面處理
• 高循環壽命(包括腐蝕性工礦)
• 內部無彈簧無螺紋，大限度地減少粒子生成和氣體截留
• 壓力范圍：真空到250 psig
• 內漏率:≤ 1 x 10-9 立方厘米/秒 He 
• 外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He
• 常規氣動動作壓力75 psig 

應用:
• 腐蝕性和特殊氣體
• 半導體工具
• 工具掛鉤
• 氣體柜
• 閥組箱 (VMB)

VeriClean™是派克漢尼汾公司商標
Vespel® 是杜邦杜邦高性能彈性體公司注冊商標
PEEK™ 是威格斯公司商標

美國派克PARKER超高純貼面安裝隔膜閥性能特點：

閥體材料 潔凈316L不銹鋼
隔膜材料 埃爾吉洛伊非磁性合金，等價
閥座材料 PCTFE (標準), PEEK, Vespel
帽材料 17-4不銹鋼
螺母材料 316L不銹鋼
爆破壓力 375 psig (26 barg) (LPNC, LPNO, LP1NC, G)
750 psig (52 barg) (I, K, M)
可承受壓力 188 psig (13 barg) (LPNC, LPNO, LP1NC, G)
375 psig (26 barg) (I, K, M)
流速 Cv 0.25 (低壓)
Cv 0.20 (手動1/4圈)
內部泄漏率 < 1 x 10-9 標準立方厘米/秒 He
外部泄漏率 < 2 x 10-10 scc/sec He
表面處理 5微英寸粗糙度或更少
大入口額定壓力 125 psig (8.6 barg) (低壓常閉, 低壓常開, 低壓1常閉, G)
250 psig (17 barg) (I, K, M)
小入口額定壓力 真空
啟動壓力 75 psig (5 barg) 標稱
烘烤溫度 in the open position: 250 °F
121°C 在開啟位置 °C
zui高運行溫度 66 °C
150 °F
低運行溫度 -40 °C
-40 °F

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